PECVD

目的：在扩散后的硅片表面沉积一层折射率低于硅片本身折射率的薄层，可以减少光入射到硅片时的表面反射，因此该薄层被称为减反射膜。

实现方法：采用等离子体强化化学气相沉积技术在电池片表面沉积一层氮化硅减反射膜，在成膜的同时还有加氢作用，因此在增强对光的吸收性的同时对太阳电池起到很好的表面和体内钝化作用，同时提高短路电流和开路电压。