目的：去除硅片边缘的 PN 结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃（PSG）。 实现方法：将硅片漂浮于化学药剂以上，通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面 的单质硅，然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅

目的：去除硅片边缘的 PN 结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃（PSG）。 实现方法：将硅片漂浮于化学药剂以上，通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面 的单质硅，然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅

目的：去除硅片边缘的 PN 结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃（PSG）。 实现方法：将硅片漂浮于化学药剂以上，通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面 的单质硅，然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅

目的：去除硅片边缘的 PN 结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃（PSG）。 实现方法：将硅片漂浮于化学药剂以上，通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面 的单质硅，然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅