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二次清洗

网站编辑:admin │ 发布时间:2018-06-26 

 目的:去除硅片边缘的PN结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃(PSG)。

 实现方法:将硅片漂浮于化学药剂以上,通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面的单质硅,然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅,从而达到去除硅片边缘的目的。