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  • 二次清洗

    目的:去除硅片边缘的 PN 结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃(PSG)。 实现方法:将硅片漂浮于化学药剂以上,通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面 的单质硅,然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅

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  • 扩散

    目的:去除硅片边缘的 PN 结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃(PSG)。 实现方法:将硅片漂浮于化学药剂以上,通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面 的单质硅,然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅

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  • 一次清洗

    目的:去除硅片边缘的 PN 结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃(PSG)。 实现方法:将硅片漂浮于化学药剂以上,通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面 的单质硅,然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅

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  • 来料检验

    目的:去除硅片边缘的 PN 结防止短路以及去除扩散后形成的磷硅玻璃(PSG)。 实现方法:将硅片漂浮于化学药剂以上,通过硝酸于亚硝酸的强氧化性氧化表面 的单质硅,然后与氢氟酸反应生成溶于水的氟化硅

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